| 
 Владимир Резников, Леонид Губырин Высокочастотные и СВЧ p-i-n диодыВведениеБлагодаря своей относительной простоте и большому числу замечательных свойств полупроводниковые p-i-n структуры уже с 50-х годов нашли широчайшее применение в конструкциях многих разновидностей полупроводниковых диодов, начиная от высоковольтных выпрямительных до фотодиодов и  гетеролазеров.
 Наиболее уверенно pin-диоды заняли свою нишу в ВЧ- и СВЧ-диапазонах для управления уровнем и (или) фазой СВЧ-сигналов, коммутации ВЧ- и СВЧ-мощности в линиях передач, для защиты радиотехнической аппаратуры от случайных СВЧ-импульсов, для стабилизации СВЧ-мощности , а также в аттенюаторах ВЧ-диапазона.
 В этих сферах pin-диоды практически не имеют конкурентов, а из-за фактической невозможности их совмещения на чипе с другими элементами не вытесняются и интегральными схемами.
 В отечественной практике pin-диоды СВЧ-диапазона получили название переключательных и ограничительных (в зависимости от рода использования), в ВЧ-диапазоне их называют коммутационными  и регулируемыми резистивными (для аттенюаторов). В зарубежной практике  в их названии сохранен конструктивно-технологический маркер «PIN-Diodes».
 В последнее время из-за резкого расширения производства средств связи, и в частности носимых переговорных устройств специального назначения, наблюдается непрестанное увеличение спроса на pin-диоды. По данным одного из ведущих зарубежных производителей, фирмы HEWLETT PACKARD, годовой прирост потребности в pin-диодах  в последние 5 лет достигает 17–33 %, а по отдельным типономиналам и до 2-х раз. Подобная тенденция начинает наблюдаться и в нашей стране, причем характерно, что pin-диоды находят все большее применение не только в аппаратуре специального назначения, но и в коммерческой.
 В связи с этим, заводом «ОПТРОН» был проведен комплекс конструкторско-технологических работ по совершенствованию pin-диодов, повышению их качества и принципиальной модернизации ряда типов.
 Краткие характеристики pin-диодаСтруктура типичного pin-диода (рис. 1, а) характеризуется тем, что между двумя сильно легированными областями очень низкого сопротивления n+ и p+ находится активная базовая i-область с высоким удельным сопротивлением (типично ri > 100 омсм, и в ряде приборов вплоть до ri = 200–4000 омсм) и относительно большим временем жизни (электронов и дырок) заряда tэфф(~0,1–1,0 мкс). Толщина базы лежит в пределах wi=3–30 мкм, диаметр меза-структур ai=0,05–2,0 мм.
  
 Рис. 1Специфические особенности pin-структуры, существенные для работы диодов, заключаются в следующем :
 
При работе в прямом направлении на достаточно высоких частотах f, определяемых соотношением
 2pfiэфф >> 1      (1)Дифуззионная емкость p±i-  и n±i-переходов полностью их шунтирует, таким образом эквивалентная схема сводится к рис. 1, б, где rпр — сопротивление базы, модулированное прямым током. Соотношение (1) может выполняться уже при частоте f& gt; 10–20 МГц и заведомо справедливо на СВЧ.
При обратном смещении эквивалентная схема pin-диода представляется в виде рис. 1, в, где rобр — сопротивление i-базы в немодулированном состоянии, равное 
 rобр=ri wi/si     (2)Реально rобр=0,1–10 кОм.
При прямом смещении вследствие двойной инжекции, дырок из p+-области и электронов из n+-области вся база «заливается» носителями и в эквивалентной схеме рис. 1, в выполняется 
 rпр~wi/si -1/tэфф Iпр     (3)Значения rпр в номинальном режиме близки к величине ~ 1 Ом; при изменении прямого тока величина rпр может изменяться в широких пределах по закону, близкому к
 rпр~1/ Iпр     (4)Пробой pin-структуры при отсутствии поверхностных утечек определяется соотношением 
 Uпроб = Eкр Wi(s)     (5),где Eкр — критическое поле, обычно принимается Eкр=2х105 В/см. Таким образом,
 Uпроб = 20Wi(мкм)     (5а)При протекании прямого тока величина накопленного заряда в базе определяется  соотношением
 Qнк = Iпр tэфф  (6),поэтому величина tэфф определяется расчетно по паспортному значению Qнк.
При резком переключении с прямого направления на обратное вначале протекает фаза рассасывания накопленного заряда, длительность которой равна
 tас = Qнк/Iрас= tэфф Iпр/ Iрас     (7),где Iрас — обратной ток рассасывания; длительность второй фазы — восстановления обратного сопротивления — определяется дрейфовым процессом под действием поля в базе по порядку величина близка к 
 tвост = Wi/mp,nUобр     (8).Таким образом, при работе в диапазоне СВЧ и отчасти  ВЧ pin-диод (без учета паразитных параметров Cк и Lк) представляет собой линейный резистор, сопротивление которого при прямом смещении rпр значительно меньше, чем при обратном rобр , при этом rпр  зависит от прямого тока.
 Pin-диоды, предлагаемые заводом «ОПТРОН»Завод  производит все перечисленные виды pin-диодов СВЧ- и ВЧ-диапазонов. Параметры переключательных диодов представлены в табл. 1, ограничительных — в табл. 2.
 Таблица 1. СВЧ-переключательные pin-диоды
    | Тип прибора | Корпус | Пробивное напряжение, В | Рассеи- ваемая мощ-
 ность Р, Вт
 | Общая емкость Сд, пФ | Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА | Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |  
    | 2(К)507А, Б
 | КД105 | 500 300
 | 5 | 0,8 - 1,2 | 200/100 | 1,5/100 |  
    | 2(К)509А, Б
 | КД105 | 200 | 2 | 0,9 - 1,2 0,7-1,0
 | 25/25 | 1,5/100 |  
    | 2(К)515А | КД105 | 100 | 0,5 | 0,4-0,7 | 15/25 | 2,5/25 |  
    | 2(К)520А Б
 | КД105 | 800 600
 | 4 | 0,4-1,0 | 300/100 | 2/100 3/100
 |  
    | 2(К)537А, Б
 | КД-16-1 | 600 300
 | 20 | 3 | 400-1000/100 200-1500/100
 | 0,5/100 1,0/100
 |  
    | 2(К)536А-5,6 Б-5,6
 | Б/к | 300 | 1 | 0,08-0,16 0,12-0,21
 | 150/10 | 1,5/100 |  
    | 2(К)541А-5,6 Б-5,6
 | Б/к | 300 | 0,5 | 0,15-0,22 0,18-0,25
 | 60-150/100 | 3,0/100 |  
    | 2(К)543А-5,6 Б-5,6
 | Б/к | 100 | 0,5 | 0,12-0,19 0,15-0,22
 | 0,5-3/5 | 1,5/5 |  
    | 2(К)546А-5,6 Б-5,6
 | Б/к | 300
 | 0,5 | 0,12-0,2 | 50-200/100 | 1,5/5 |  
    | 2(К)554А-5,6 Б-5,6
 | Б/к | 500 150
 | 0,5 | 0,025-0,08 | - | 2,0/100 |  Таблица 2. СВЧ-ограничительные pin-диоды
    | Тип прибора | Корпус | Пробивное напряжение, В | Рассеи- ваемая мощ-
 ность Р, Вт
 | Общая емкость Сд, пФ | Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА | Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |  
    | 2(К)А534А Б
 | КД-102 | 30-110 40-110
 | 0,25 0,15
 | 0,4-0,65 0,35-0,5
 | 0,22-1,0/10 | 0,9-1,8/10 |  
    | 2(К)А522А-2 Б-2
 | Б/к | 70 100
 | 0,3 | 0,35-0,75 0,1-1,0
 | 1/50 | 1,8/100 2,0/100
 |  
    | 2(К)А550А-5 | Б/к | 100-180 | 5 | 0,2-0,6 | 0,3-1,0/20 | 0,6-1,0/100 |   
 Рис. 2На рис.2 представлены некоторые типовые зависимости параметров от режимов измерения и эксплуатации (как видим, они вполне удовлетворительно подтверждают теоретические соотношения (4,6,7)).
 Диоды предназначены для сантиметрового, дециметрового и метрового диапазонов; переключательные применяются в переключательных устройствах, модуляторах, фазовращателях, аттенюаторах; ограничительные — в устройствах ограничения и управления мощностью, защиты входных приемников и для тех же целей в составе герметизированных гибридных схем.
 Одна из  характерных особенностей современного интереса к СВЧ pin-диодам — это резкое увеличение спроса на бескорпусные приборы. Отметим, что завод «ОПТРОН» предлагает четыре основных разновидности  бескорпусных приборов: в виде кристалла с контактными площадками без выводов; с гибкими ленточными выводами; на цилиндрическом металлическом держателе — теплоотводе и  на керамическом держателе типа «кроватка».
 Накопленный заводом производственный опыт, цикл технологических работ по совершенствованию эпитаксии и сборочных процессов позволяет по специальным соглашениям изготовлять приборы с параметрами, превосходящими, указанные в таблицах 1 и 2. В ряде случаев, напротив, задаваемые на тот или иной прибор параметры оказываются неопределенно завышенными или условия применения не требуют их двухстороннего ограничения. В этих случаях возможна, также по дополнительному соглашения, поставка приборов по сниженным ценам.
 Для ВЧ-диапазона завод выпускает коммутационные  pin-диоды: КД407А,2Д420А и регулируемые резистивные типов 2Д(КД)413А,Б  и КД417А  для применения в аттенюаторах радиоприемников и селекторов телевизионных каналов.
 Приборы выпускаются в стеклянных корпусах с аксиальными выводами типа КД4 и КД1 (миниатюрный). Диапазон рабочих частот от 10 до 300 МГц, основные параметры приборов приведены в табл. 3. Графики рис. 3 свидетельствуют о том, что для использования в аттенюаторах могут отбираться приборы с очень широким динамическим диапазоном (до четырех порядков изменения rпр).
 Таблица 3. ВЧ-переключательные pin-диоды
    | Тип прибора | Корпус | Пробивное напряжение, В | Общая емкость Сд, пФ | Накопленный заряд Qнк/Iпр Нк/мА | Прямое сопротивление mp/Iпр Ом/мА |  
    | 2Д420А | КД4 | 24 | 1,5 | - | 1,0/10 |  
    | КД407А | КД4 | 24 | 1,5 | - | 1,0/10 |  
    | 2Д420А/* КД407А,Б,В
 | КД2 | 24-100 | 1,3-1,5 | - | 1,3-1,5/10 |  
    | 2(К)Д413А Б
 | КД1 | 30 | 0,7 | 2/20 | 30-60/2 40-80/2
 |  
    | КД417А | КД1 | 24 | 0,4 | - | 25/2 |   
 Рис. 3В целях повышения качества коммутационных pin-диодов разработан модернизированный аналог диодов КД407А/2Д420А в корпусе КД2. Эти приборы отличаются высокой температурной стабильностью параметров, повышенным обратным напряжением и могут поставляться по более низким ценам.
 Тел. (095) 365-58-52gub@optron.ru
 
 
 |